1993年阿耐思特岩田在世界上推出第一台无油涡旋真空泵，因为无油所以不会污染真空内腔，也不会造成泵体周围的环境污染。
有从50L/min到1000L/min的8个机种。可以根据客户需要提供最适合的机型，从真空行业到加速器都有涡旋真空泵技术的广泛应用。
| 产品名称 | 无油涡漩式真空泵 | ||||||
| 形式 | ISP-50 | ISP-90 | ISP-250C | ISP-500C | ISP-1000 | CISP-250C-SV | |
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设计排气速度 (L/min 50/60Hz) |
50/60 | 90/108 | 250/300 | 500/600 | 1000/1200 | 250 | |
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极限 真空度 |
Pa (50/60Hz) |
20/15 | 5 | 1.6 | 1 | ≤1.6(1.2 X 10-2) | |
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Torr (50/60Hz) |
1.5x10ˉ¹ 1.1x10ˉ¹ |
3.7x10ˉ² | 1.2x10ˉ² | 7.5x10ˉ³ | |||
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Mabr (50/60Hz) |
2x10ˉ¹ 1.5x10ˉ¹ |
5x10ˉ² | 1.6x10ˉ² | 1x10ˉ² | |||
| 电机输出(kW) | 0.1 | 0.15 | 0.4 | 0.6 | 1.4 | 0.4 | |
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电压值 (V) |
单相电机 |
AC100V(50/60Hz), 115V(60Hz) (附加热保护装置) |
100，115，200，230（附加热保护装置） | — | 220 | ||
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AC200V,230V (50/60Hz) (附加热保护装置) |
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| 三相电机 | — | — | 200，208，230，380，415，460 | — | |||
| 噪音值dB(A) |
48 (带吹气机 能时57) |
52 (带吹气机 能时57) |
58 (带吹气机 能时66) |
60 (带吹气机 能时68) |
67 (带吹气机 能时74) |
≤61 | |
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重量 (kg) |
单相电机 | 12 | 14 | 25 | 44 | — | — |
| 三相电机 | — | — | 23 | 38 | 60 | — | |
| 泄漏量(pa·m4/s) | ≤1x10-7 | ≤1x10-5 | — | ||||
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水蒸气处理量 (g/day) |
3(带吹气机能时) | 5(带吹气机能时) | 25(带吹气机能时) | — | |||
| 吸气量(L/min) | 4 | 9 | 10 | — | |||
| 吸气口径(NW) | 25 | 40 | — | ||||
| 排气口径(NW) | 16 | 25 | 40 | — | |||
| 冷却方式 | 空冷 | — | |||||
| 工作环境温度(℃) | 5~10 | 10~40 | — | ||||
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